Les oscillateurs MEMS (système microélectromécanique) sont également connus sous le nom d'oscillateurs silicium. Les oscillateurs MEMS combinent une faible consommation avec une fréquence précise, offrant des encombrements d'insertion aux oscillateurs standard. Les MEMS offrent des oscillateurs kHz et MHz combinant une plus grande température et une plus grande stabilité que les oscillateurs conventionnels.
Ces dispositifs offrent une excellente résistance aux vibrations et aux chocs, ainsi qu'une grande fiabilité en termes de variation de température. Les oscillateurs MEMS sont également moins sensibles aux interférences électromagnétiques (IEM) qui sont courantes dans la plupart des systèmes. Les MEMS sont des dispositifs programmés qui offrent une très large gamme de fréquences.
Les dispositifs MEMS se composent d'éléments mécaniques, tels que des actionneurs, des capteurs et des dispositifs électroniques sur un substrat en silicium.