Les oscillateurs MEMS (système microélectromécanique) sont également connus sous le nom d'oscillateurs silicium. Les oscillateurs MEMS combinent une faible consommation avec une fréquence précise, offrant des encombrements d'insertion aux oscillateurs standard. Les MEMS offrent des oscillateurs kHz et MHz combinant une plus grande température et une plus grande stabilité que les oscillateurs conventionnels.
Ces dispositifs offrent une excellente résistance aux vibrations et aux chocs, ainsi qu'une grande fiabilité en termes de variation de température. Les oscillateurs MEMS sont également moins sensibles aux interférences électromagnétiques (IEM) qui sont courantes dans la plupart des systèmes. Les MEMS sont des dispositifs programmés qui offrent une très large gamme de fréquences.
Les dispositifs MEMS se composent d'éléments mécaniques, tels que des actionneurs, des capteurs et des dispositifs électroniques sur un substrat en silicium.
Avantages des MEMS
Très faible consommation
Très petite taille
Intégration aisée dans les systèmes
Résistance aux chocs et aux rayonnements de vibrations
Economique
Applications
Applications grand public - Appareils, dispositifs de formation sportive, périphériques informatiques
Industrie automobile - Coussins gonflables, systèmes de sécurité de véhicule, serrures de porte, feux de freinage internes, détection de retournement
Militaire - Tanks, équipement pour les soldats, avions
Industriel - Détection de séismes, état des machines, détection des chocs et de l'inclinaison